Mask光罩AGV

• 光達導航+高精度定位系統

• 全向移動:前進/後退/橫移

• 雙伸出平台

• 主動式對接日本曝光機

• 光罩儲位系統

• 最高標國際安規設計

• 技術創新, 業界唯一