Mask AGV

光罩

Mask光罩AGV

  • 光達導航+高精度定位系統

  • 全向移動:前進/後退/橫移

  • 雙伸出平台

  • 主動式對接日本曝光機

  • 光罩儲位系統

  • 最高標國際安規設計

  • 技術創新, 業界唯一